用于

IPA、純水和化學(xué)液體等半導(dǎo)體制造過程中微觀區(qū)域的流量管理

?測(cè)量1ml/min

以上的微小流量 ?通過數(shù)字信號(hào)處理

高精度測(cè)量微小流量 ?傳感器部具有與流體的非接觸式結(jié)構(gòu)

?范圍廣

產(chǎn)品規(guī)格

微液體流量計(jì)（傳感器分離型）

微LF-300S

型 μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸） 或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸）

測(cè)量原理 超聲波傳播時(shí)間差法

被測(cè)液體 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液

* 請(qǐng)?zhí)崆皺z查水以外的液體

自適應(yīng)流體溫度范圍 如果您在 15C~80C

* 60C 或更高溫度下使用，請(qǐng)?zhí)崆皺z查

流體壓力 0.5MPa 以下

流體動(dòng)力學(xué)粘度 100mm2/sec 或更小

流量范圍 0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I）

0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I）

測(cè)量精度 ±0.5%RD （1/8英寸 ： 200 ~ 1000ml/min 條件： 常溫、恒溫水）

±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min）

±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 條件：常溫、恒溫水）

±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分鐘）

重復(fù)性 ±0.2%（純品，液體溫度±0.5C，平均 30 秒）

權(quán)力 直流 24V ±10%

功耗 3.6W 或更低

重量 傳感器 240 克，探測(cè)器 70 克

尺寸 WxHxD（mm） 傳感器 97 x 49 x 127

探測(cè)器 90 x 25 x 20（不含管）

探測(cè)器

管材 PFA（含氟聚合物）

管徑 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米

結(jié)構(gòu) 相當(dāng)于 IP65

包含電纜 5m，連接器連接

Input 部分

數(shù)字輸出 4 線 RS-422、4 線 RS-485

模擬輸出 4-20mA（瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻 500Ω 以下

積分脈沖輸出 1ch （集電極開路）

警報(bào)輸出 1ch （集電極開路）

聯(lián)系人輸入 1ch（零流量設(shè)置或完全清除）

鍵入命令 4 輸入按鈕